发明名称 |
一种LPCVD工艺腔加热系统 |
摘要 |
本发明公开了一种LPCVD工艺腔加热系统,具体地讲是一种适用于薄膜电池对TCO超白浮法平板玻璃加热的LPCVD工艺腔加热系统。其包括控制系统、加热部件、被加热体三部分;其中,被加热体为加热板;加热部件包括四根加热丝,加热丝嵌入到加热板中;控制系统包括四个温控器和四个固态继电器,四个温控器分别对应四根加热丝,每个温控器与对应的固态继电器通过两根控制线连接,固态继电器的输出端与加热丝连接。本发明具有加热板温度易控、加热温度精度高、加热均匀、镀膜均匀、成品率高的特点。 |
申请公布号 |
CN102400111A |
申请公布日期 |
2012.04.04 |
申请号 |
CN201110372325.9 |
申请日期 |
2011.11.21 |
申请人 |
汉能科技有限公司 |
发明人 |
乔志强 |
分类号 |
C23C16/46(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/46(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种LPCVD工艺腔加热系统,包括控制系统、加热部件、被加热体三部分;其中,被加热体为加热板(1);加热部件包括四根加热丝(2),加热丝(2)嵌入到加热板(1)中;控制系统包括四个温控器(3)和四个固态继电器(4),四个温控器(3)分别对应四根加热丝(2),每个温控器(3)与对应的固态继电器(4)通过两根控制线连接,固态继电器(4)的输出端与加热丝(2)连接。 |
地址 |
102209 北京市昌平区北七家镇宏福创业园15号院 |