| 发明名称 | 一种热丝化学气相沉积设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种热丝化学气相沉积设备，包括沉积腔、样品台和热丝，所述样品台位于所述沉积腔的下部，所述热丝位于所述样品台的正上方，还包括位于所述热丝的正上方的偏压极，所述偏压极与地之间连接有直流电源。与现有技术相比，本实用新型可施加更高的偏压，进一步提高了薄膜的形核率和沉积速率，且不影响灯丝的寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN202181350U | 申请公布日期 | 2012.04.04 |
| 申请号 | CN201120275654.7 | 申请日期 | 2011.07.29 |
| 申请人 | 广州市德百顺电气科技有限公司 | 发明人 | 钟建华;张文英 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人 | 杨晓松 |
| 主权项 | 一种热丝化学气相沉积设备，包括沉积腔、样品台和热丝，所述样品台位于所述沉积腔的下部，所述热丝位于所述样品台的正上方，其特征在于，还包括位于所述热丝的正上方的偏压极，所述偏压极与地之间连接有直流电源。 | ||
| 地址 | 510663 广东省广州市科学城揽月路80号科技创新基地E区204-206 | ||