发明名称 | 声表面波器件、电子设备以及传感器装置 | ||
摘要 | 一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置,其能够在维持工作温度范围内的SAW器件的优秀的频率温度特性的同时,抑制由于回流焊接安装时的高温、和使用时或环境的温度变化而导致的频率变化,从而使可靠性提高。SAW器件(1)具有:IDT(3),其在欧拉角为(-1.5°≤φ≤1.5°,117°≤θ≤142°,ψ)的水晶基板(2)的主面上,对阻带上限模式的SAW进行激振;电极指间槽(8),其凹设在IDT的电极指(6a,6b)之间。当欧拉角ψ为42.79°≤|ψ|≤49.57°时,IDT电极指膜厚H设定在0.055μm≤H≤0.335μm的范围内,优选设定在0.080μm≤H≤0.335μm的范围内。当欧拉角为|ψ|≠90°×n,且n=0、1、2、3时,电极指膜厚H设定在0.05μm≤H≤0.20μm范围内。 | ||
申请公布号 | CN102403974A | 申请公布日期 | 2012.04.04 |
申请号 | CN201110261726.7 | 申请日期 | 2011.08.29 |
申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 山人;大脇卓弥;小幡直久 |
分类号 | H03H9/02(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/02(2006.01)I |
代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人 | 黄威;张彬 |
主权项 | 一种声表面波器件,其特征在于,具有:水晶基板,其欧拉角为(‑1.5°≤φ≤1.5°,117°≤θ≤142°,ψ);叉指换能器,其由被设置于所述水晶基板的主面上的多个电极指构成,且激振阻带上限模式的声表面波;电极指间槽,其凹设在所述叉指换能器的相邻的所述电极指之间的、所述水晶基板的表面上,所述声表面波的波长λ与所述电极指间槽的深度G满足0.01λ≤G的关系,所述叉指换能器的线占有率η与所述电极指间槽的深度G满足如下式11以及式12的关系,即,式11‑2.0000×G/λ+0.7200≤η≤‑2.5000×G/λ+0.7775,但是,0.0100≤G≤0.0500λ;式12‑3.5898×G/λ+0.7995≤η≤‑2.5000×G/λ+0.7775,但是,0.0500<G≤0.0695λ;所述欧拉角ψ满足|ψ|≠90°×n,其中,n=0、1、2、3,所述电极指的膜厚H在0.05μm≤H≤0.20μm的范围内。 | ||
地址 | 日本东京 |