压电致动器及其制造方法

摘要

提供一种包括第1及第2压电悬臂梁的压电致动器，作为在形成有第1及第2压电悬臂梁的支撑体的上表面上设置的配线，使用图纹化的金属膜。

主权项

一种压电致动器，其特征在于，包括：支撑部件，具有外壳和支撑体，该支撑体具有多个第1支撑部、第2支撑部及第3支撑部并且所述支撑体的厚度比所述外壳的厚度薄，所述第1支撑部一端与所述外壳一体构成并且所述第1支撑部对应第1压电悬臂梁的形成区域，所述第2支撑部对应第2压电悬臂梁的形成区域并且与所述第1支撑部分离，所述第3支撑部将所述第1支撑部与第2支撑部连接；所述第1压电悬臂梁，具有第1下部电极、设在该第1下部电极上的第1压电体、及设在该第1压电体上的第1上部电极；所述第2压电悬臂梁，具有第2下部电极、设在该第2下部电极上的第2压电体、及设在该第2压电体上的第2上部电极；第1配线，设在所述支撑体的上表面，将所述第1下部电极与所述第2下部电极电气连接；第2配线，设在所述支撑体的上表面，将多个设在所述第1支撑部的所述第1上部电极电气连接；以及第3配线，设在所述支撑体的上表面，将多个设在所述第2支撑部的所述第2上部电极电气连接；其中，所述第2及第3配线由金属膜构成。