压印装置

摘要

本发明公开一种可通过简单的方式在平板显示元件用的基板上形成蚀刻区与非蚀刻区的压印装置。该装置包括：框架；腔室，具有第一腔壳与第二腔壳，所述第一腔壳与第二腔壳设置在所述框架上的上、下两个位置上，所述两个腔壳通过结合或分离动作，形成一可以开放的密封空间；软模，具有用于区分蚀刻区与非蚀刻区域的图案面，位于所述腔室的密封空间内；载物台，具有用于装载基板的装载面，在所述腔室的密封空间内相对于所述软模做上下运动；及硬化机构，从位于所述载物台的基板一侧向另一侧移动的同时照射紫外线。

主权项

一种压印装置，包括：框架；腔室，具有第一腔壳与第二腔壳，所述第一腔壳与第二腔壳设置在所述框架上的上下两个位置上，通过结合或分离动作形成一可以开放的密封空间；软模，具有用于区分蚀刻区与非蚀刻区域的图案面，位于所述腔室的密封空间内；载物台，具有用于装载基板的装载面，在所述腔室的密封空间内相对于所述软模做上下运动；硬化机构，其包括用于产生紫外线的紫外线灯管和用于移动所述紫外线灯管的第三驱动机构，其中，所述紫外线灯管在所述第一腔壳与所述第二腔壳相互分开的状态下，介于所述两个腔壳间，并从所述基板的一侧向另一侧移动；压力分布机构，设置在所述第一腔壳内，用于对所述软模均匀施加压力，所述压力分布机构包括：隔离部件，设置在所述第一腔壳上，用于形成压力室；第一阀门，设置在所述第一腔壳上，用于连通或者隔离所述压力室与大气环境；第二阀门，设置在所述隔离部件上，用于连通或者隔离所述腔室与所述压力室；分离气嘴，其被设置于所述腔室的所述密封空间内，位于所述软模的两侧，并与气体供给装置相连，通过向所述软模与所述基板之间喷入空气从而顺利将所述软模与所述基板分离。