用于清洁的设备和方法

摘要

本发明涉及用于清洁薄片和/或容易断裂的晶圆(6)的装置，其中所述晶圆(6)的一个侧面固定在托架装置(2)上，并且在两个相邻晶圆之间形成空隙(7)。所述装置主要包括：喷淋装置(15)，所述喷淋装置将流体引入各个空隙(7)，并且具有至少一个喷淋单元(16)，所述喷淋单元(16)具有多个喷嘴并且配置为两部分，其中一部分水平设置在所述槽(14)的纵向一侧，从而所述两部分与所述槽的纵轴平行并且具有相对的流向；以及槽(14)，其能够充满流体，并且形成所需要的尺寸从而适合所述托架装置(2)；以及-交替控制装置，其能够控制所述至少一个喷淋单元(16)的两个部分，从而直接相对的喷嘴不会被同时触发，其中所述触发涉及所述流体的排放或抽吸。

主权项

用于清洁薄晶圆(6)的装置，所述晶圆的一侧固定在托架装置(2)上，并且在两个相邻晶圆之间形成空隙(7)，其组成主要包括：‑喷淋装置(15)，所述喷淋装置将流体引入各个空隙(7)，并且具有至少一个喷淋单元(16)，所述喷淋单元(16)具有多个喷嘴并且配置为两部分，其中每一部分水平设置在槽(14)的纵向一侧，从而所述两部分与所述槽的纵轴平行并且具有相对的流向，以及‑槽(14)，其能够充满流体，并且形成所需要的尺寸从而适合所述托架装置(2)，以及‑交替控制装置，其能够控制所述至少一个喷嘴单元(16)的两个部分，从而直接相对的喷嘴不会被同时触发，其特征在于，所述至少一个喷淋单元(16)的所述两部分既能够被用于喷出的正压开启也能够被用于吸入流体的负压开启。