剪切力测试装置

摘要

一种剪切力测试装置，包括一个基板，在所述基板上设有弹性体，所述弹性体具有可朝向或远离所述基板移动的自由端，测试头连接在所述自由端上，所述弹性体具有两个间隔一定距离设置的可相互抵消水平位置偏移的U形弹性臂，所述两个U形弹性臂的自由端连接在一起，测试头固定安装在所述自由端上。在两个U形弹性臂之间设有弹性体的固定端，两个U形弹性臂的固定端连为一体，并与所述基板固定连接；两个U形弹性臂的远离自由端的一端通过连接板固定连接。本实用新型具有在剪切力测试过程中，接触定位位置不会发生水平方向的偏移，保证在细线间距或极细线间距半导体剪切力测试中极端精密定位的要求，具有测试可靠性和精准性高的优点。

主权项

一种剪切力测试装置，包括一个基板，在所述基板上设有弹性体，所述弹性体具有可朝向或远离所述基板移动的自由端，测试头连接在所述自由端上，其特征在于：所述弹性体具有两个间隔一定距离设置的可相互抵消水平位置偏移的U形弹性臂，所述两个U形弹性臂的自由端连接在一起，测试头固定安装在所述自由端上；在两个U形弹性臂之间设有弹性体的固定端，两个U形弹性臂的固定端连为一体，并与所述基板固定连接；两个U形弹性臂的远离自由端的一端通过连接梁固定连接。