晶圆储存盒的置放结构

摘要

一种晶圆储存盒的置放结构，其改善传统置放结构占空间且高成本的缺点，包含中控单元及复数置放单元，该等置放单元相邻设置且分别具有置放座、物件感应元件、气体输入元件、气体输出元件、资料读取元件及复数外定位元件，物件感应元件、气体输入元件、气体输出元件、资料读取元件及该等外定位元件设置于置放座上，物件感应元件、气体输入元件、气体输出元件及资料读取元件电连接中控单元。藉此，本创作可将电子料架、氮气柜及氮气充填机的功能融为一体。