发明名称 |
辐射灵敏性树脂组成物 |
摘要 |
一种含有共聚物(A)与醌二叠氮化合物(B)的辐射灵敏的树脂组成物。其聚物(A)含有衍生自一种不饱和化合物的结构单元(a1),此种不饱和化合物含有至少由活性亚甲基和活性次甲基组成的组中选择的一种。共聚物(A)含有衍生自含有对光和/或热灵敏反应基团的不饱和化合物的不饱合键的另外一种结构单元(a2)。 |
申请公布号 |
TWI361334 |
申请公布日期 |
2012.04.01 |
申请号 |
TW094121165 |
申请日期 |
2005.06.24 |
申请人 |
住友化学股份有限公司 日本 |
发明人 |
武部和男 |
分类号 |
G03F7/004;G03F7/008;G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/004 |
代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
主权项 |
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地址 |
日本 |