气刀装置

摘要

本发明提供一种以向平板显示元件用基板喷射乾燥用空气的方式可容易进行乾燥的气刀装置。所述气刀装置包括：主体，其内部设置有空气流入口；第一腔室，其设置在所述主体内侧，并接收由所述空气流入口供给的乾燥用空气；第二腔室，其与第一腔室之间设有所述空气流入口，从而与第一腔室相隔配置；吐出单元，其包括用于向外部喷射所述第一腔室和第二腔室内乾燥用空气的第一吐出口和第二吐出口；以及流量控制机构，其用于控制从所述空气流入口供给到所述第一腔室和第二腔室的乾燥用空气的供给量。