| 摘要 |
本发明揭示一种电浆处理装置，其中在一传输腔体中不产生寄生电浆。该电浆处理装置具有一加载互锁真空室、一传输腔体、一处理腔体及闸门阀，其中该闸门阀被安装在该等腔体之间，用于传输一基板及打开和关闭该等腔体之开口。每一该等闸门阀包括：一阀外壳，其被提供于该等腔体之间，使得藉由于其间插入密封构件、且在其中形成一指定封闭空间该阀外壳与该等腔体之侧表面接触；一阀，其包括一在该处理腔体侧与该阀外壳之一内表面接触之密封板，以及一在该传输腔体侧与该阀外壳之内表面接触之支承板；一阀驱动单元，其被连接至该阀用于在垂直方向上移动该阀；以及一接地构件，其形成于该阀之表面上，用于在该阀与该阀外壳之内表面接触时电连接该阀与该阀外壳。 |
