制造颗粒材料、测量及减少颗粒材料中粉尘之系统与方法

摘要

本发明指出一种制造颗粒多晶矽、及供应颗粒多晶矽的方法。本发明也指出一种测量及减少在颗粒多晶矽中之粉尘的装置与方法。在另一观点中，该系统包括一种具有真空汽门(port)的制程容器，其用来从多晶矽中抽除粉尘。本发明的另一个系统包括用来接收多晶矽流动的挡板管。测量系统包括用来分离并测量来自多晶矽流的粉尘之歧管及滤器。