三轴磁性感应器及其制造方法

摘要

本发明之三轴磁性感应器系利用偏磁串联连接复数个磁阻效应元件条而形成磁阻效应元件，X轴感应器之磁阻效应元件以及Y轴感应器之磁阻效应元件形成于对于基板之平面平行的平面上。磁化的灵敏度方向对于各磁阻效应元件条之长度方向系垂直方向，以X轴感应器之磁阻效应元件与Y轴感应器之磁阻效应元件之磁化方向相互正交之方式形成。而且，Z轴感应器之磁阻效应元件形成于自基板平面突出而设置之突部的斜面上，磁化方向以位于上述斜面内之方式形成。Z轴感应器之磁化灵敏度方向以对于上述磁阻效应元件条之长度方向成为垂直方向之方式形成。