基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明之课题;提供一种可防止氟化氢附着于处理箱内面等的基板处理装置。;本发明之解决手段;一种将基板收容于处理箱内加以处理的装置，其中具备对处理箱40内供给氟化氢气体的氟化氢气体供给通路61；处理箱40之内面的一部分或全部，系构成为由未施加表面氧化处理的铝或铝合金所形成。处理箱40，系具备闭塞处理箱本体51之上部开口的盖体52；最少盖体52之内面，系由未施加氧化铝处理的铝或铝合金所形成。