| 摘要 |
本发明揭示一种用于测试一受测半导体装置(10)特性的探针头，该探针头包括一介电膜(24)，其采用紧固支撑该介电膜(24)之一支撑框架(26)支撑至少一个受测半导体装置(10)。一第一支撑物(40)将用于电接触该受测半导体装置(10)之一第一侧面(16)的一第一探针(28)固定在适当位置，以及一第二支撑物(34)以一第二位置(P2)将一第二探针(30)固定在适当位置，用于电接触该受测半导体装置之一相反第二侧面(18)，该第二支撑物(34)具有一驱动器以在一第一位置(P1)与一第二位置(P2)间移动该第二探针(30)。 |
