| 摘要 |
<p>Offenbart ist ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Vibrationsbauteils. In einem lackmusterbildenden Schritt wird ein Maskenelement auf einem Wafer S angeordnet, während eine maskenseitige Markierung, welche in einem Maskenelement gebildet ist, welches für eine Elektrodenschicht vorbereitet ist, mit waferseitigen Markierungen S3 und S4 von einer Vielzahl von waferseitigen Markierungen S3 und S4, welche im Wafer S gebildet werden, in eine Linie gebracht wird. Die maskenseitige Markierung hat ein paar voneinander beabstandete Markierungsbereiche, wobei sich der Abstand zwischen den beiden Markierungsbereichen zwischen einer Vielzahl von Maskenelementen unterscheidet. Jede der Vielzahlen von waferseitigen Markierungen S3 und S4 hat jeweils ein paar voneinander beabstandete konkave Bereiche S5 und S6, wobei sich der Abstand zwischen den beiden konkaven Bereichen S5 und S6 zwischen einer Vielzahl von waferseitigen Markierungen S3 und S4 unterscheidet, so dass die waferseitigen Markierungen S3 und S4 den gleichen Abstand haben wie der Abstand zwischen den beiden Markierungsbereichen in den entsprechenden Maskenelementen. Die vorliegende Erfindung betrifft auch einen für dieses Verfahren verwendeten Wafer, einen piezoelektrischen Vibrator, einen Oszillator, eine elektronische Vorrichtung und eine Funkuhr.</p> |
