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发明名称 Cerium Oxide Chemical Mechanical Polishing Slurry Composition that enhanced Polishing Non-uniformity
摘要
申请公布号 KR101126124(B1) 申请公布日期 2012.03.30
申请号 KR20050045512 申请日期 2005.05.30
申请人 发明人
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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