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Vorrichtung (16) zum Regeln einer Spannung einer Substratbahn (7), die entlang eines Transportpfades gefördert wird, welche folgendes aufweist: eine erste Antriebseinheit (18) mit einer ersten Antriebsrolle (19), um welche die Substratbahn (7) teilweise herumgeführt und gespannt ist; eine zweite Antriebseinheit (20) mit einer zweiten Antriebsrolle (21), um welche die Substratbahn (7) teilweise herumgeführt und gespannt ist; wobei die erste und die zweite Antriebseinheit (18, 20) unterschiedliche Rotationsträgheitsmomente aufweisen; eine Messeinheit (22) zum Liefern einer Messgröße der Spannung der Substratbahn (7); eine Reglereinheit (17) in Verbindung mit der Messeinheit (22) und der ersten (18) und der zweiten Antriebseinheit (20), welche eine erste und eine zweite Filtereinrichtung (34, 46) mit unterschiedlichen Filtercharakteristiken zum Filtern der Messgröße aufweist, wobei die Reglereinheit (17) eine erste Regelvorrichtung (24) zum Regeln der ersten Antriebseinheit (18) basierend auf der durch die erste Filtereinrichtung (34) gefilterten Messgröße sowie eine zweite Regelvorrichtung...
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