Teilchenstrahlgerät mit einem Probenträger

摘要

Die Erfindung betrifft ein Teilchenstrahlgerät und eine Probenaufnahmeeinrichtung, die einen Probenträger (112) aufweist. Der Probenträger (112) ist entlang mindestens einer ersten Achse (x-Achse) und entlang mindestens einer zweiten Achse (y-Achse) beweglich angeordnet. Ferner ist der Probenträger (112) um eine erste Rotationsachse (124) und um eine zweite Rotationsachse (128) drehbar angeordnet. Ein erster Probenhalter (118) ist um eine dritte Rotationsachse (129) relativ zum Probenträger (112) drehbar angeordnet, wobei die dritte Rotationsachse (129) und die zweite Rotationsachse (128) zumindest teilweise lateral versetzt zueinander angeordnet sind. Ferner ist eine Steuereinrichtung vorgesehen, wobei der erste Probenhalter (118) mittels der Steuereinrichtung um die dritte Rotationsachse (129) in eine Untersuchungsposition und/oder Bearbeitungsposition drehbar ist.