发明名称 Verfahren zum Verbinden von Körpern und Verbundkörper
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden eines ersten Körpers (2) mit einem zweiten, plattenförmigen Körper (3) an einander gegenüberliegenden Verbindungsflächen (2a, 3a), wobei der zweite Körper (3) in zumindest einer Richtung (X) über eine Kante (2') des ersten Körpers (2) übersteht, das Verfahren umfassend: Erzeugen einer Mehrzahl von Abstandshaltern (4a' bis 4e') an mindestens einer der Verbindungsflächen (2a), Aufbringen von Klebstoff (5) in Zwischenräume (6a bis 6d) zwischen den Abstandshaltern (4a' bis 4e') sowie über einen äußeren Abstandshalter (4e, 4e') hinaus bis zu einem Kleberand (5a), der an einer Kante (2') des ersten Körpers (2) gebildet ist, und Verbinden der Körper (2, 3) durch Kontaktieren der Verbindungsflächen (2a, 3a) an den Abstandshaltern (4a' bis 4e'), wobei zur Einstellung eines gewünschten Deformationszustands des plattenförmigen Körpers (3) nach einer Schrumpfung des aufgebrachten Klebstoffs (5), bei dem insbesondere eine Verbiegung des plattenförmigen Körpers (3) minimiert ist, ein vorgegebener Abstand (d) zwischen dem Kleberand (5a) und dem äußersten Abstandshalter (4e) eingestellt wird. Die Erfindung betrifft auch einen Verbundkörper (1), bei dem der Abstand (d) zwischen 20μm und 250μm, bevorzugt zwischen 30μm und 200μm, insbesondere zwischen 40μm und 150μm liegt.</p>
申请公布号 DE102010041576(A1) 申请公布日期 2012.03.29
申请号 DE20101041576 申请日期 2010.09.29
申请人 CARL ZEISS SMT GMBH 发明人 CHUNG, HIN YIU ANTHONY;SCHAFFER, DIRK
分类号 C09J5/04;B32B7/12;F16B11/00;H01L21/68 主分类号 C09J5/04
代理机构 代理人
主权项
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