发明名称 |
ILLUMINATION OPTICAL SYSTEM WITH A MOVABLE FILTER ELEMENT |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungsoptik, zur Ausleuchtung eines Objektfeldes mit Strahlung einer ersten Wellenlänge. Dabei umfasst die Beleuchtungsoptik ein Filterelement zur Unterdrückung von Strahlung mit einer zweiten Wellenlänge. Das Filterelement mindestens eine obskurierend wirkende Komponente, so dass sich während des Betriebs der Beleuchtungsoptik aufgrund der obskurierend wirkenden Komponente mindestens einen Bereich (469, 471) reduzierter Intensität von Strahlung mit der ersten Wellenlänge auf einem in Lichtrichtung nach dem Filterelement angeordneten ersten optischen Element (407) der Beleuchtungsoptik ergeben. Hierbei kann das Filterelement eine Mehrzahl von Positionen einnehmen, die zu unterschiedlichen Bereichen (469, 471) reduzierter Intensität fuhren, wobei es zu jedem Punkt auf einer optischen Nutzfläche (441) des ersten optischen Elements (407) mindestens eine Position gibt, so dass der Punkt nicht in einem Bereich (469, 471) reduzierter Intensität liegt.</p> |
申请公布号 |
WO2012038112(A1) |
申请公布日期 |
2012.03.29 |
申请号 |
WO2011EP61631 |
申请日期 |
2011.07.08 |
申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH;LAYH, MICHAEL;FIOLKA, DAMIAN;HARTJES, JOACHIM |
发明人 |
LAYH, MICHAEL;FIOLKA, DAMIAN;HARTJES, JOACHIM |
分类号 |
G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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