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发明名称 Wafer cassette
摘要
申请公布号 KR101126735(B1) 申请公布日期 2012.03.29
申请号 KR20050126281 申请日期 2005.12.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;B82Y30/00 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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