Beschichten von Substraten mit einer Legierung mittels Kathodenzerstäubung

摘要

Durch die Erfindung wird ein Target zum Beschichten eines Substrats mittels Kathodenzerstäubung mit einer Legierung bereitgestellt, die zumindest ein erstes und ein zweites Material als Legierungsbestandteile aufweist. Die Oberfläche des Targets weist zumindest einen ersten Abschnitt aus dem ersten Material und einem zweiten Abschnitt aus dem zweiten Material auf. Die beiden Abschnitte grenzen aneinander und bilden eine gemeinsame Grenzlinie. Weiterhin werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Beschichten eines Substrats mittels Kathodenzerstäubung mit einer Legierung unter Verwendung des erfindungsgemäßen Targets bereitgestellt.