膜检查装置和膜检查方法

摘要

【解决问题】本发明提供检查在膜的制造时发生的缺陷点，并可有效地利用检查后的数据的检查装置和检查方法。【解决方法】膜检查装置(10)具备：具有光源和多个受光部排列成的传感器，且用来扫描膜的照相机(12)；将扫描所得到的电荷信号变换为电压信号并根据电压信号分析膜的不良部分的分析单元(14)；存储用于区别膜的不良部分的大小的多个大小阈值的存储单元(16)；以及将所分析的电压信号与多个大小阈值进行比较，求出电压信号与哪个大小阈值相一致的比较器(18)。

主权项

一种检查膜的不良的膜检查装置，其特征在于，包含：照相机，具有发出透过上述膜的光的光源和多个受光部排列成的传感器，用该传感器扫描上述膜；将用上述传感器扫描所得到的电荷信号变换为电压信号并根据该电压信号分析膜的不良部分的单元，包含对上述电压信号进行微分的单元、存储用于判定是否是上述膜的不良部分的判断用阈值的单元、将所微分的上述电压信号与判断用阈值进行比较，判定是否是膜不良的单元；存储用于根据上述电压信号区别膜的不良部分的大小的多个大小阈值的单元；将所分析的上述电压信号与上述多个大小阈值进行比较，求出该电压信号与哪个大小阈值相一致的单元；存储用于区别上述膜的不良部分的大小的基准数的单元；将扫描上述不良部分的次数与基准数进行比较，求出该次数是否是基准数以上的单元；根据扫描上述膜的不良部分的次数、扫描间隔和膜的移动速度求出不良部分的长度的单元；以及根据上述不良部分的长度和进行上述微分的电压信号的波形对不良部分的种类进行分类的单元。