抛光组合物

摘要

本发明涉及一种抛光组合物，它更适合用于磁盘基片的抛光。抛光组合物含有：研磨剂、微纹消除剂、氧化剂、抛光促进剂、以及水。微纹消除剂是一种还原剂，它含以下组中选出的至少一种：膦酸、亚膦酸、连二磷酸铵、硫酸铵、硫酸钠、对苯二酚、焦酚、异抗坏血酸、异抗坏血酸钠、L-抗坏血酸、蚁酸、蚁酸钠、蚁酸铵、草酸、草酸铵、碘酸铵以及五倍子酸。

主权项

一种抛光组合物，其特征在于，包含：不低于0.1％重量且不高于10％重量的二氧化硅、不低于0.05％重量且不高于1％重量的还原剂，所述还原剂含有选自膦酸、亚膦酸、连二磷酸铵、对苯二酚、焦酚、蚁酸、蚁酸钠、蚁酸铵以及五倍子酸中的至少一种、不低于0.5％重量且不高于10％重量的过氧化氢、不低于0.1％重量且不高于20％重量含有磷酸盐的抛光促进剂，所述磷酸盐选自于磷酸三铵、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸三钠、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸三钾、磷酸氢二钾以及磷酸二氢钾、以及水。