含微粒处理单元的全氟化物的催化剂式处理方法

摘要

本发明提供了一种处理含氟化物和含硅化物气体的方法，其将欲处理的气体依序进行热处理、微粒处理、催化剂处理和酸气的移除，藉此在相对低温操作中达到移除含氟化物的气体的效果，本发明通过依序结合各个处理单元来降低气体处理所需的温度，并可同时处理含氟气体、含硅化物的气体和含微粒的气体，且可延长催化剂的使用寿命、系统操作成本、增加催化剂应用范围。

主权项

一种含微粒处理单元的全氟化物的催化剂式处理方法，其步骤包含：(a)将含有氟化物和四氢化硅的气体进行热处理；(b)将热处理后的气体进行微粒处理，以移除气体中0.01μm以上的微粒；(c)将步骤(b)微粒处理后的气体与催化剂接触进行催化剂处理；及(d)移除催化剂处理后的气体中的酸气；其中，前述各处理步骤均在350～800℃中进行；其中，前述步骤(b)是使用湿式静电集尘过滤法；其中，前述催化剂是二段式催化剂，其第一段为氧化铝含浸锌，第二段为氧化铝含浸铜、铈。