具有包含碳纳米管或半导体纳米线的复合隔膜的传感器

摘要

一种传感器(10)，优选地能够在大的操作范围上进行高分辨率感测，该传感器包括复合隔膜(12)，所述复合隔膜(12)包含纳米管或纳米线(14)。所述纳米管或纳米线(14)优选地形成嵌入诸如高介电或绝缘薄膜等绝缘材料(16，18)中的衬垫。纳米管或纳米线(14)可以为隔膜(10)提供大于大约1000GPa的杨氏模量以及大于大约100GPa的拉伸强度。可以通过电阻、电压、电流或电容的变化来测量纳米管或纳米线(14)中的应变。

主权项

一种传感器，包括：复合结构，由嵌入绝缘材料中的纳米管或纳米线所组成的衬垫形成，其中，所述复合结构具有大于1000GPa的杨氏模量；以及电极，用于响应于复合结构响应于物理参数而偏转来获得传感器信号，所述电极当中的至少一个连接至所述衬垫，其中，传感器信号表示作为纳米线或纳米管的衬垫中的应变的函数的电阻、电压、电流、或电容，而且传感器信号表示所测量的压力、流量、温度或水平。