一种非球形硅溶胶的制备方法

摘要

本发明提供了一种非球形硅溶胶的制备方法，包括以下步骤：（1）制备粒径20～50nm的非球形硅溶胶晶种母液；（2）制备醇低于5wt%的水溶性硅溶胶。本发明具有如下技术效果：本发明采用溶胶-凝胶法，通过对反应过程中的加料配比、物料浓度、反应液pH、反应温度进行工艺控制，直接制备出具有非球形结构的硅溶胶。本发明副反应少、生长周期短、工艺简单，不需加入添加剂、无机盐或进行表面改性等工艺。制备的硅溶胶能够应用于CMP技术粗抛过程的研磨抛光或作为其它粒子改性过程中所需的载体，非球形硅溶胶中球型颗粒所占的比例低于5%，胶体粒径在20~100nm可控，通过蒸发除水工艺控制水溶性硅溶胶中SiO2的含量为5~50wt%。

主权项

一种非球形硅溶胶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）在醇溶剂中加入碱和去离子水配成混合液A并充分搅拌均匀；在醇溶剂中加入正硅酸乙酯配成混合液B并充分搅拌均匀；将混合液B加入到混合液A中，在20～50℃下恒温恒速搅拌反应5～8h，反应过程中的pH控制在7.5～10，得到粒径20～50nm的非球形硅溶胶晶种母液；（2）将上步制得的溶液与去离子水等体积混合稀释，充分搅拌均匀后，加热混合液使醇蒸发，加热温度为醇的沸点，将混合液蒸发至原体积的二分之一或低于二分之一，得到醇低于5wt%的水溶性硅溶胶。