容积流体输送系统中的流体状态的控制

摘要

一种改进的、用于向半导体加工工具提供加工流体的容积流体分配系统。该具有交变的压力容器式发动机的改进系统基本上消除了容积流体供给管线中由于来自分配容器中的流体的重量变化的落差损失而导致的压力波动。该系统还能够灵活控制流体供给管线中的流体的流动状态。

主权项

一种用于控制容积流体分配系统中的流体的压力的方法，该分配系统具有用于向供给管线供给流体的第一容器和第二容器，用于向第一和第二容器供给惰性气体的惰性气体源，设置在供给管线中的控制器和传感器，该方法包括以下步骤：在控制器接收来自传感器的控制信号；开始第一容器的分配循环，包括以下步骤：根据控制信号和位于第二容器的第一液位和第二液位之间的流体的高差压力确定第一信号；基于第一信号向第一容器中的流体施加第一压力；和将流体从第一容器的第一液位分配到第二液位；和开始第二容器的分配循环，包括以下步骤：根据控制信号和位于第一容器的第一液位和第二液位之间的流体的高差压力确定第二信号；基于第二信号向第二容器中的流体施加第二压力；和将流体从第二容器的第一液位分配到第二液位。