电容式麦克风

摘要

本发明有关一种电容式麦克风，尤其涉及一种微机电系统(Micro-Electro-Machanicl-System，简称MEMS)麦克风，包括背极板、振膜以及集成电路板。其中，背极板与振膜之间形成第一电容，振膜与集成电路板之间形成第二电容，第一电容与第二电容之间通过差分电连接到集成电路板，通过两电容的差分连接，可以过滤噪音信号，提高麦克风灵敏度。

主权项

一种电容式麦克风，主要包括：背极板、与背极板相对设置的振膜、与振膜相对设置的集成电路板，其特征在于：振膜位于背极板与集成电路板之间，且三者之间相互绝缘，振膜与背极板之间形成第一电容，振膜与集成电路板之间形成第二电容，两电容以差分形式电连接到集成电路板上的其它电路，两电容并联设置，并联设置之后的电容连接到集成电路板的其它电路，当振膜产生振动时，振膜与背极板之间的距离以及振膜与集成电路板的导电层的距离同时发生变化，且振膜与背极板之间的距离变化与振膜与集成电路板的导电层的距离的变化相反。