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发明名称 Improved cleaning of plasma chamber walls by adding of noble gas cleaning step
摘要
申请公布号 EP2034046(A3) 申请公布日期 2012.03.28
申请号 EP20080163870 申请日期 2008.09.08
申请人 IMEC;KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN 发明人 URBANOWICZ, ADAM MICHAL;BAKLANOV, MIKHAIL;SHAMIRYAN, DENIS;DE GENDT, STEFAN
分类号 C23C16/44;B08B7/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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