薄膜光热性能的测量装置和测量方法

摘要

一种薄膜光热性能的测量装置和测量方法。本发明是在原有的表面热透镜技术的基础上，通过改变泵浦光束的调制频率，来获取探测信号的幅值和相位信号随频率的变化关系。将此关系与理论模型的计算结果对比后，可以得到薄膜内部的一些重要信息。本发明不仅能够测量薄膜的吸收率，还可以测量出单层膜的热导率以及一些强吸收杂质的深度分度，因此可以对薄膜的光热性能做出全面的评价，对优化镀膜工艺和探寻损伤机制等方面都有较大的辅助作用。

主权项

一种薄膜光热性能的测量装置，其特征在于该装置的构成包括：泵浦光路：包括泵浦光激光器(1)，沿该泵浦光激光器(1)发出的泵浦光依次经第一衰减器(2)、第一缩束器(3)、能量监测器(4)、声光调制器(5)和第一聚焦透镜(6)后照射在二维移动平台(13)上的待测薄膜上；探测光路：包括探测光激光器(7)，沿该探测光激光器(7)发出的探测光依次经第二衰减器(8)和第二聚焦透镜(9)照射在所述的二维移动平台(13)上的待测薄膜上；由待测薄膜反射的光经滤光片(10)和第三聚焦透镜(11)进入光电探测器(12)，该光电探测器(12)的输出端接万用表(14)和锁相放大器(15)的输入端，所述的万用表(14)和锁相放大器(15)的输出端接计算机(16)，该计算机(16)的输出端接所述的二维移动平台(13)的控制端，所述的锁相放大器(15)的TTL输出端接所述的声光调制器(5)的输入端。