一种用氟硅酸钙制备四氟化硅的方法

摘要

本发明一种四氟化硅的制备方法，以水合氟硅酸钙为原料，特点是包括以下步骤：将水合氟硅酸钙预热到60～100℃后，在压力为0.05～0.5MPaG，温度为100～220℃的条件下，干燥60～150min得到水份含量低于1.5wt%的固体粉末状的氟硅酸钙的步骤；将氟硅酸钙送入中间储罐，然后送入裂解反应器，在压力为0.05～0.5MPaG，温度为220-420℃的条件下，热解60～150min，得到四氟化硅粗产品的步骤；将四氟化硅粗产品送入硫酸洗涤塔，洗涤除去水分得到纯度可达99%的四氟化硅产品的步骤，其优点是，工艺过程简单，减轻了对设备的腐蚀，节能、环保、低成本，提高了四氟化硅的纯度。

主权项

一种四氟化硅的制备方法，以水合氟硅酸钙为原料，其特征在于包括以下步骤：（1）脱水：将水合氟硅酸钙预热后送入脱水反应器，在压力为0.05～0.5MPaG，温度为100‑220℃的条件下，干燥60～150min，得到水份含量低于1.5wt%的固体粉末状的六氟硅酸钙；（2）热解：将步骤（1）得到的六氟硅酸钙送入中间储罐，将四氟化硅气体充入中间储罐除去六氟硅酸钙固体粉末中的空气和少量水蒸气，然后送入裂解反应器，在压力为0.05～0.5MPaG，温度为220‑400℃的条件下，热解60～150min，得到四氟化硅粗产品和氟化钙；（3）四氟化硅提纯：将步骤（2）得到的四氟化硅粗产品冷却到50～100℃后，送入洗涤塔，通过浓硫酸洗涤除去水分，得到纯度大于99%的四氟化硅产品。