发明名称 |
热固化型模片键合膜 |
摘要 |
本发明的热固化型模片键合膜,其在制造半导体装置时使用,其特征在于,含有5~15重量%热塑性树脂成分及45~55重量%热固性树脂成分为主成分,并且热固化前的100℃下的熔融粘度为400Pa·s以上、2500Pa·s以下。 |
申请公布号 |
CN102391809A |
申请公布日期 |
2012.03.28 |
申请号 |
CN201110261480.3 |
申请日期 |
2008.03.03 |
申请人 |
日东电工株式会社 |
发明人 |
高木尚英;三隅贞仁;松村健;天野康弘;荒井麻美;三木翼 |
分类号 |
C09J163/00(2006.01)I;C09J133/00(2006.01)I;C09J11/04(2006.01)I;C09J7/00(2006.01)I;C09J7/02(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
C09J163/00(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
王海川;穆德骏 |
主权项 |
一种热固化型模片键合膜,其在制造半导体装置时使用,其特征在于,含有5~15重量%热塑性树脂成分及45~55重量%热固性树脂成分为主成分,所述热塑性树脂成分为丙烯酸树脂成分,并且所述热固性树脂成分为环氧树脂成分和酚树脂成分,相对于有机树脂成分100重量份含有10重量份以上且80重量份以下的无机填料,并且热固化前的100℃下的熔融粘度为400Pa·s以上且2500Pa·s以下,通过加热热固化后在85℃、85%RH的环境下放置168小时时的吸湿率为1重量%以下。 |
地址 |
日本大阪 |