发明名称 热固化型模片键合膜
摘要 本发明的热固化型模片键合膜,其在制造半导体装置时使用,其特征在于,含有5~15重量%热塑性树脂成分及45~55重量%热固性树脂成分为主成分,并且热固化前的100℃下的熔融粘度为400Pa·s以上、2500Pa·s以下。
申请公布号 CN102391809A 申请公布日期 2012.03.28
申请号 CN201110261480.3 申请日期 2008.03.03
申请人 日东电工株式会社 发明人 高木尚英;三隅贞仁;松村健;天野康弘;荒井麻美;三木翼
分类号 C09J163/00(2006.01)I;C09J133/00(2006.01)I;C09J11/04(2006.01)I;C09J7/00(2006.01)I;C09J7/02(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I 主分类号 C09J163/00(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 王海川;穆德骏
主权项 一种热固化型模片键合膜,其在制造半导体装置时使用,其特征在于,含有5~15重量%热塑性树脂成分及45~55重量%热固性树脂成分为主成分,所述热塑性树脂成分为丙烯酸树脂成分,并且所述热固性树脂成分为环氧树脂成分和酚树脂成分,相对于有机树脂成分100重量份含有10重量份以上且80重量份以下的无机填料,并且热固化前的100℃下的熔融粘度为400Pa·s以上且2500Pa·s以下,通过加热热固化后在85℃、85%RH的环境下放置168小时时的吸湿率为1重量%以下。
地址 日本大阪