| 发明名称 | 用于制造金属互连线的掩模板版图 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于制造金属互连线的掩模板版图，其包括：多个线条图形，用于形成金属互连线；开口图形，设置于所述线条图形内，用于形成绝缘隔离区。本发明解决了在金属互连线制造过程中，出现铜残留缺陷的问题，增加了工艺的稳定性，提高了产品良率。 | ||
| 申请公布号 | CN101872114B | 申请公布日期 | 2012.03.28 |
| 申请号 | CN200910049996.4 | 申请日期 | 2009.04.24 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 黄军平;魏红建 |
| 分类号 | G03F1/60(2012.01)I | 主分类号 | G03F1/60(2012.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种用于制造金属互连线的掩模板，其特征在于，包括：线条图形，用于形成金属互连线；以及开口图形，设置于所述线条图形内，用于形成绝缘隔离区，所述开口图形使得金属互连线被划分，其划分后的线条的线宽均在0.5um至3um之间。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||