基于顶侧分开控制多晶硅铸锭炉的加热控制系统

摘要

本实用新型涉及多晶硅铸锭炉的生产控制，旨在提供一种基于顶侧分开控制多晶硅铸锭炉的加热控制系统。该系统中侧部加热器接于侧部电源，顶部加热器接于顶部电源，侧部电源和顶部电源通过导线连接至功率分配控制模块，另外设置控制模块、加热控制模块和长晶高度计算模块，以及炉室顶部的温控传感器、下水温流量传感器、侧水温流量传感器、侧加热器温度传感器、顶加热器温度传感器。本实用新型的优点是：晶体生长速度提高，缩短长晶时间；可以精确计算长晶速度及长晶高度，对长晶过程精确控制；加热器功率总功率降低，且由于其晶体生长时间缩短，能耗显著降低；使晶体生长界面更加平坦，晶粒垂直度更好且有利于其长大，晶体质量提高。

主权项

基于顶侧分开控制多晶硅铸锭炉的加热控制系统，包括：置于炉室内的隔热笼体，坩埚及热交换台置于支撑柱上，坩埚四周设侧部加热器和侧加热器温度传感器，顶部设顶部加热器和顶加热器温度传感器，炉室的水冷夹套设下水温流量传感器和侧水温流量传感器；其特征在于，所述侧部加热器接于侧部电源，顶部加热器接于顶部电源，侧部电源和顶部电源通过导线连接至功率分配控制模块，功率分配控制模块分别电连接至中央控制模块、加热控制模块和长晶高度计算模块，加热控制模块分别电连接至中央控制模块、长晶高度计算模块和设于炉室顶部的温控传感器，长晶高度计算模块分别电连接至下水温流量传感器、侧水温流量传感器、侧加热器温度传感器、顶加热器温度传感器和中央控制模块；隔热笼控制模块分别电连接至隔热笼提升系统和中央控制模块。