光波导路的制造方法

摘要

本发明提供一种光波导路的制造方法。由于以往的石英制的成形模(34)的机械强度较弱，所以无法在下敷层(32)上以较强的压力按压。因此，在成形模和下敷层之间容易产生间隙(42)。紫外线固化液状树脂(37)渗透到间隙中，在上敷层(41)的周边形成毛刺(43)。而且，上敷层的厚度比设计值厚。在本发明中，在模具(15)的凹部(16)中填充能够形成上敷层(14)的紫外线固化液状树脂(17)。使填充于模具的凹部中的紫外线固化液状树脂与芯(13)和下敷层(12)紧密贴合。对基材(11)和模具施加压力(23)，使下敷层和模具紧密贴合后，从基材侧照射紫外线(24)，使紫外线固化液状树脂固化，之后，去除上述模具。

主权项

一种光波导路的制造方法，该光波导路包括：透过紫外线的基材；形成在上述基材上的下敷层；形成在上述下敷层上的芯；以覆盖上述芯的方式形成在上述下敷层上的上敷层，其中，该光波导路的制造方法依次包括以下工序：工序A，在具有凹部的模具的上述凹部中填充能够形成上述上敷层的紫外线固化液状树脂，其中，上述模具的材料是金属；工序B，使上述芯和上述下敷层紧密贴合于填充于上述模具的凹部中的上述紫外线固化液状树脂；工序C，一边对上述基材和上述模具施加压力，使上述下敷层和上述模具紧密贴合，一边从上述基材侧照射紫外线，使上述紫外线固化液状树脂固化，或者在对上述基材和上述模具施加压力，使上述下敷层和上述模具紧密贴合后，从上述基材侧照射紫外线，使上述紫外线固化液状树脂固化；工序D，去除上述模具。