发明名称 |
一种全球面折反式光刻投影物镜 |
摘要 |
本发明提供一种全球面折反式光刻投影物镜,包括耦合镜组G1、折反镜组G2、会聚透镜组G3以及孔径光阑,所述折反镜组G2包括第二镜片L2和第三镜片L3,第二镜片L2和第三镜片L3之间的距离的取值范围为45mm~35mm;上述各部件沿光束入射方向的顺序关系为:耦合镜组G1、第二镜片L2、孔径光阑、第三镜片L3以及会聚透镜组G3,且所述各部件的中心在同一直线上。本发明采用了具有折反功能的第二镜片L2和第三镜片L3,使光路在第二镜片L2和第三镜片L3之间发生多次折反,因此增加本发明光刻投影物镜设计的自由度,提高校正像差的能力,特别是球差和彗差,有益于实现高数值孔径物镜。 |
申请公布号 |
CN102393560A |
申请公布日期 |
2012.03.28 |
申请号 |
CN201110417316.7 |
申请日期 |
2011.12.14 |
申请人 |
北京理工大学 |
发明人 |
李艳秋;刘晓林 |
分类号 |
G02B17/08(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G02B17/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京理工大学专利中心 11120 |
代理人 |
李爱英;杨志兵 |
主权项 |
一种全球面折反式光刻投影物镜,其特征在于:包括耦合镜组G1、折反镜组G2、会聚透镜组G3以及孔径光阑,所述折反镜组G2包括第二镜片L2和第三镜片L3,第二镜片L2和第三镜片L3之间的距离的取值范围为45mm~35mm;上述各部件沿光束入射方向的顺序关系为:耦合镜组G1、第二镜片L2、孔径光阑、第三镜片L3以及会聚透镜组G3,且所述各部件的中心在同一直线上;所述第二镜片L2为弯月负透镜,其厚度范围为9~15mm;前表面为凸面,其曲率半径的取值范围为60~85mm;后表面为凹面,其曲率半径的取值范围为55~80mm;前表面中心区域为镀有抗反膜AR的透射面,外环边缘区域为镀有高反膜HR的反射面,且该中心区域为直径等于φ2的圆,其中9mm<φ2<23mm;后表面镀有抗反膜AR;所述第三镜片L3的前表面是平面,后表面的中心区域为镀有高反膜HR的凸面反射面,且该凸面反射面的曲率半径的取值范围为12mm~25mm,后表面的外环边缘区域为镀有抗反膜AR的平面透射面;该后表面中心区域为直径等于φ3的圆,其中7mm<φ3<15mm。 |
地址 |
100081 北京市海淀区中关村南大街5号 |