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发明名称 PLASMA PROCESSING APPARATUS AND OPERATION METHOD OF THE SAME
摘要
申请公布号 KR101131694(B1) 申请公布日期 2012.03.28
申请号 KR20090111872 申请日期 2009.11.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;H01L21/66 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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