| 发明名称 | 具有侧出气口的基板支撑件及方法 | ||
| 摘要 | 一种用于处理腔室的基板支撑件，包括静电吸盘以及位于该静电吸盘下方的气体分配器基板，其中静电吸盘具有接收表面以接收该基板。该气体分配器基板包括具有复数个出气口的周围侧壁，这些出气口彼此间隔开，以便从围绕该基板的周边且以径向朝外的方向将处理气体导入该处理腔室。 | ||
| 申请公布号 | CN102396060A | 申请公布日期 | 2012.03.28 |
| 申请号 | CN201080017094.3 | 申请日期 | 2010.04.23 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | M·维尔莱卡尔;M·孚德;J·A·马林;S·D·麦克莱兰 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I;B23Q3/15(2006.01)I;H02N13/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/687(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陆勍;管琦琦 |
| 主权项 | 一种用于在处理腔室内接收基板的基板支撑件，所述基板包括周边，所述基板支撑件包括：(a)静电吸盘，所述静电吸盘具有接收表面，以便接收所述基板；以及(b)位于所述静电吸盘下方的气体分配器基板，所述气体分配器基板包括周围侧壁，所述周围侧壁具有彼此互相隔开的的复数个出气口，以便将处理气体从围绕基板周边且以径向朝外的方向，引入所述处理腔室内。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||