单晶炉接晶盘自动旋转装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉接晶盘自动旋转装置，包括U型接晶盘，U型接晶盘的底板上设置有缓冲套，缓冲套对应副炉室内径中心线位置设置，在副炉室的两侧分别安装有随动轴安装底板和气缸安装底板；U型接晶盘一边端面与随动端轴套的外端连接，随动端轴套通过法兰轴承套装在随动轴上，随动轴安装在随动轴安装底板上；U型接晶盘另一边端面与气缸端轴套连接，气缸端轴套通过键与回转气缸的输出轴连接，回转气缸与气缸过渡板连接，气缸过渡板与气缸安装底板连接。本实用新型装置采用气动控制装置，实现U型接晶盘自动旋转动作、消除了安全隐患、生产效率明显提高。

主权项

一种单晶炉接晶盘自动旋转装置，其特征在于：包括U型接晶盘(1)，U型接晶盘(1)的底板上设置有缓冲套(13)，缓冲套(13)对应副炉室内径中心线位置设置，在副炉室(7)的两侧分别安装有随动轴安装底板(6)和气缸安装底板(8)；U型接晶盘(1)一边端面与随动端轴套(2)的外端连接，随动端轴套(2)通过法兰轴承(3)套装在随动轴(5)上，随动轴(5)安装在随动轴安装底板(6)上；U型接晶盘(1)另一边端面与气缸端轴套(11)连接，气缸端轴套(11)通过键(12)与回转气缸(10)的输出轴连接，回转气缸(10)与气缸过渡板(9)连接，气缸过渡板(9)与气缸安装底板(8)连接。