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发明名称 A METHOD FOR FORMING RECTANGULAR-SHAPE SPACERS FOR SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR101129712(B1) 申请公布日期 2012.03.28
申请号 KR20067013138 申请日期 2004.10.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/266 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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