微机械器件及设计其的设备和制造其的方法,和微机械系统

摘要

本发明涉及一种微机械器件，所述微机械器件包括层；形成在层内的至少第一切口，用于限定第一摆动元件，第一摆动元件通过层的第一弹簧部分被可摆动地悬挂；和形成在层内的至少第二切口，用于限定第二摆动元件，第二摆动元件通过层的第二弹簧部分被可摆动地悬挂，其中沟槽在层的主表面中形成在弹簧部分对内，其中第一摆动元件的谐振频率与第二摆动元件的谐振频率不同，并且如此形成第一弹簧部分、第二弹簧部分和沟槽使得在第一弹簧部分和第二弹簧部分的各向异性横向材料移除和/或各向异性横向材料增加的情况下，第二摆动元件的谐振频率的相对变化与第一摆动元件的谐振频率的相对变化的比率范围为从0.8至1.2。

主权项

一种微机械器件(100；100′)，包括：层(110)；形成在层(110)内的第一切口(120′)，用于限定第一摆动元件(150′)，所述第一摆动元件(150′)通过层(110)的第一弹簧部分(130′)被可摆动地悬挂；和形成在层(110)内的第二切口(120)，用于限定第二摆动元件(150)，所述第二摆动元件(150)通过层(110)的第二弹簧部分(130)被可摆动地悬挂，其中沟槽(140)在层(110)的主表面(112)中形成在第二弹簧部分(130)内，其中第一摆动元件(150′)的谐振频率(f1)与第二摆动元件(150)的谐振频率(f2)不同，并且如此形成第一弹簧部分(130′)、第二弹簧部分(130)和沟槽(140)使得在第一弹簧部分(130′)和第二弹簧部分(130)的各向异性横向材料移除(‑Δb)或各向异性横向材料增加(+Δb)的情况下，第二摆动元件(150)的谐振频率的相对变化与第一摆动元件(150′)的谐振频率的相对变化的比率(Vs)范围为从0.8至1.2。