发明名称 |
在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的技术 |
摘要 |
在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的技术,涉及到PECVD制备过程中喷淋电极同时沉积薄膜的技术。包括内部装有喷淋电极和基体电极的真空设备,所述的电极与外部的射频电源相互连接;在所述的电极上均附有电池基材;所述的喷淋电极内部有气体通道,喷淋电极与所附有的电池基材上均有小孔。两组小孔一一对应并依矩阵或同心圆阵排列。气体通过所述的两组小孔垂直喷向基体电极上的电池基材,同时喷淋电极上的电池基材也获得喷淋的气体,实现薄膜沉积。这样,电极上的电池基材的表面均获得薄膜沉积,均可以制备薄膜光伏电池。设备产能可以成倍的增加;电极清洗作业量可以极大地减少。 |
申请公布号 |
CN102394255A |
申请公布日期 |
2012.03.28 |
申请号 |
CN201110360851.3 |
申请日期 |
2011.11.15 |
申请人 |
苏州思博露光伏能源科技有限公司 |
发明人 |
奚建平 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
苏州市新苏专利事务所有限公司 32221 |
代理人 |
朱建民 |
主权项 |
在柔性薄膜光伏电池制造中喷淋电极同时沉积薄膜的技术,包括内部装有相互对应的喷淋电极(2)和基体电极(3)的真空设备(1),所述的电极与外部的射频电源(4)相互连接;其特征在于:在所述的基体电极(3)上和所述的喷淋电极(2)上均附有电池基材(5),所述的喷淋电极(2)内部有气体通道(6),喷淋电极(2)与所附有的电池基材(5)上均有小孔(7)。 |
地址 |
215153 江苏省苏州市苏州高新区通安昆仑山路189号 |