晶圆表面粗糙度检测方法

摘要

本发明提供一种晶圆表面粗糙度检测方法，包括如下步骤：从同一批次的晶圆中挑选出至少三个不同粗糙度的晶圆作为样品；将每个所述样品放到粗糙度测试仪下进行检测，得出各自的粗糙度；将每个所述样品放到光学检测仪下进行检测，得出各自的反光度；建立所述粗糙度和所述反光度之间的关系式；将同一批次的晶圆逐个通过光学检测仪进行检测，得出每个所述晶圆的反光度，根据所述关系式，得出每个所述晶圆的粗糙度。本发明能够对晶圆表面的粗糙度进行实时的检测，有利于提高晶圆的质量。

主权项

一种晶圆表面粗糙度检测方法，其特征在于包括如下步骤：从同一批次的晶圆中挑选出至少三个不同粗糙度的晶圆作为样品；将每个所述样品放到粗糙度测试仪下进行检测，得出各自的粗糙度；将每个所述样品放到光学检测仪下进行检测，得出各自的反光度；建立所述粗糙度和所述反光度之间的关系式；将同一批次的晶圆逐个通过光学检测仪进行检测，得出每个所述晶圆的反光度，根据所述关系式，得出每个所述晶圆的粗糙度。