发明名称
摘要
申请公布号 JP4905442(B2) 申请公布日期 2012.03.28
申请号 JP20080310667 申请日期 2008.12.05
申请人 发明人
分类号 H01L27/10;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L21/8244;H01L27/00;H01L27/088;H01L27/108;H01L27/11;H01L29/786 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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