一种音圈隔振/抑振结构及其控制方法

摘要

本发明公开了一种音圈隔振/抑振结构及其控制方法，在安装平台和基座之间加入了一个中间平台，三者通过两个音圈电机和两根支撑弹簧串联起来，并由三根光轴限制径向位移。当启用上音圈电机时，可以在安装平台和中间平台之间提供一个负刚度，与下弹簧提供的正刚度串联起来，理论上可以使结构整体刚度趋于无穷大，从而抑制直接干扰。当启用下音圈电机时，可以提供一个可变阻尼，使基座振动在传递到中间平台时就得到良好的隔离，减弱甚至消除由下弹簧柔性引起的低频共振，从而大幅削弱基座宽带振动对安装平台上高精密设备的影响。

主权项

一种音圈隔振/抑振结构，其特征在于，包括动力部分、支撑结构部分和测量部分；动力部分包括上音圈电机和下音圈电机，上音圈电机包括上音圈电机线圈和上音圈电机磁体，上音圈电机线圈与安装平台固定连接，上音圈电机磁体与中间平台固定连接，上音圈电机线圈位于上音圈电机磁体内部的环形凹槽中，上音圈电机磁体外围设有上支撑弹簧；下音圈电机包括下音圈电机线圈和下音圈电机磁体，下音圈电机线圈与基座固定连接，下音圈电机磁体与中间平台固定连接，下音圈电机线圈位于下音圈电机磁体内部的环形凹槽中，下音圈电机磁体外围设有下支撑弹簧；支撑结构部分包括安装平台、中间平台、基座、上支撑弹簧、下支撑弹簧、光轴和直线滚珠导套；安装平台、中间平台上均设有三个通孔，三个通孔为120°角均匀分布，安装平台、中间平台的通孔中均设有直线滚珠导套，直线滚珠导套固定在通孔中，三根光轴分别穿过安装平台、中间平台上的直线滚珠导套，最后固定在基座上；安装平台与中间平台之间通过上支撑弹簧支撑，中间平台与基座之间通过下支撑弹簧支撑；测量部分包括相对位移传感器和速度传感器；相对位移传感器固定在安装平台的外边缘；速度传感器固定在中间平台的外边缘。