发明名称 场效应晶体管和显示器
摘要 本发明涉及场效应晶体管和显示器。所述场效应晶体管至少包括沟道层、栅绝缘层、源极电极、漏极电极和栅极电极。所述沟道层由包含In和Al的非晶氧化物材料In-Al-O形成。所述非晶氧化物材料的通过Al/(In+Al)表达的元素比为大于等于0.15且小于等于0.45。
申请公布号 CN102394248A 申请公布日期 2012.03.28
申请号 CN201110374817.1 申请日期 2008.12.02
申请人 佳能株式会社 发明人 岩崎达哉;板垣奈穗
分类号 H01L29/786(2006.01)I 主分类号 H01L29/786(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 杨国权
主权项 一种场效应晶体管,其至少包括沟道层、栅绝缘层、源极电极、漏极电极和栅极电极,其中,所述沟道层由包含In和Al的非晶氧化物材料In Al O形成,以及其中,所述非晶氧化物材料的通过Al/(In+Al)表达的元素比为大于等于0.15且小于等于0.45。
地址 日本东京