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经营范围
发明名称
Fabrication Method of Dual Damascene Pattern for Semiconductor Device
摘要
申请公布号
KR101124302(B1)
申请公布日期
2012.03.27
申请号
KR20100026763
申请日期
2010.03.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/3205;H01L21/28
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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