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发明名称 Method and system for process optimization
摘要 A method and apparatus for process optimization is provided. Process optimization improves parametric and functional yield post mask manufacturing.
申请公布号 US8146024(B2) 申请公布日期 2012.03.27
申请号 US20060612432 申请日期 2006.12.18
申请人 CHAN KEVIN;DREGE EMMANUEL;JAKATDAR NICKHIL;LITVINTSEVA SVETLANA;MILLER MARK A.;RAQUEL FRANCIS;CADENCE DESIGN SYSTEMS, INC. 发明人 CHAN KEVIN;DREGE EMMANUEL;JAKATDAR NICKHIL;LITVINTSEVA SVETLANA;MILLER MARK A.;RAQUEL FRANCIS
分类号 G06F17/50 主分类号 G06F17/50
代理机构 代理人
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